前回のブログでは、清浄表面について議論しましたが、その後の検討を進める中で、今回は「ステップ＆テラス基板」についてさらに深く掘り下げてみたいと思います。実際の実験や加工技術において、清浄な表面を得るための一手法として、ス…
試料作製
「清浄表面」と「清浄な表面」
「清浄表面」の概念の違いについて 「清浄表面」という言葉は、表面科学の分野と電子デバイス・一般工学の分野で異なる意味を持つにもかかわらず、どちらも英語では“clean surface”と表現されます。しかし、これらの概念…
Si(111)-(7×7)清浄表面の作り方
これは書くまでもありませんが、研究室に配属されたばかりの学生用として書いておきます。 大まかな流れ 試料の脱ガス フラッシング アニール 以下は、Si(111)-(7×7)清浄表面を得るための主要な工程です。こ…